典型的力,壓力和加速度傳感器的表示如圖3所示。(灰色代表測試結(jié)構(gòu)。藍色對應(yīng)于傳感器外殼。壓電晶體為紅色。黑色電極是電荷來自的地方晶體在被黃色微電路調(diào)節(jié)之前積聚。加速度計還包含一個用綠色顯示的質(zhì)量。)注意,它們在內(nèi)部配置上差別很小。在測量運動的加速度計中,晶體迫使不變的地震質(zhì)量“M”跟隨基座和它所連接的結(jié)構(gòu)的運動。使用牛頓第二運動定律可以很容易地計算出晶體上產(chǎn)生的力:F = MA。壓力和力傳感器幾乎相同,并依靠外力來拉緊晶體。主要區(qū)別在于壓力傳感器利用隔膜來收集壓力,該壓力僅僅是施加在區(qū)域上的力。

圖3:傳感器結(jié)構(gòu)
由于它們的相似性,用于測量一個特定參數(shù)的傳感器對其他輸入也有些敏感。通過***小化對不需要事件的敏感度,傳感器可以更準(zhǔn)確地測量其預(yù)期參數(shù)。例如,復(fù)雜的壓力傳感器通常利用補償元件來降低其對加速度的敏感度。其他傳感器采用熱補償放大器來降低傳感器的整體熱系數(shù)。***后,加速度計利用替代的剪切結(jié)構(gòu)傳感元件來減少熱瞬態(tài),橫向運動和基礎(chǔ)應(yīng)變的影響。